Tip 8715 - Gazlar için Kütle Akış Kontrolörü (MFC)

Tip Tanımı

Tip 8715, gazların kütle akışını, gaz ile doğrudan temas halinde olmayan bir sensör elemanı aracılığıyla kontrol eder. Sensör tarafından verilen ölçülen değer (sayfa 2'deki açıklamaya bakınız), dijital kontrol elektronik bileşenlerinde, önceden tanımlanmış ayar noktası ile sinyale göre karşılaştırılacaktır; eğer bir kontrol farkı mevcut ise, oransal valfe giden kontrol değer çıkışı PI-kontrol algoritması kullanılarak modifiye edilecektir. Bu şekilde, sistemdeki basınç değişkenleri ya da diğer değişikliklere bakılmaksızın, kütle akışı sabit bir değerde muhafaza edilebilir veya önceden tanımlanmış bir profil takip edilebilir. Tip 8715 isteğe bağlı olarak iki farklı gaz için kalibre edilebilir, kullanıcı bu iki gaz arasında geçiş yapabilir. Kontrol elemanı olarak, doğrudan etkili bir oransal valf, MFC'nin yüksek hassasiyetini ve iyi kontrol özelliklerini garanti eder. Bu araç, komut veren cihazlarla dijital olarak haberleşir, ayrıca Analog/Dijital dönüştürme işlemlerine gerek yoktur.