Bypass CMOS sensörü

Ana kanal içerisindeki laminar akış bileşeni, bypass kanalı üzerinden tam akışın küçük kısmını iten hafif bir basınç düşmesi yaratır. Burada yer alan sensör doğrudan sıcaklık farkını ölçerek kütle akış hızını kaydeder. Bu durumda, duvarları açıktaki bir diyaframla bir arada olan Si çipini içeren özel şekilde biçimlendirilmiş akış kanalı içerisinde ölçüm alınır. Isıtıcı CMOSens ® teknolojisi kullanarak, ısıtıcı rezistör bunun ön ve arka akışındaki iki sıcaklık sensörü üzerinden bu diyaframa bağlanır. Eğer ısıtıcı rezistör sabit bir voltajla sağlanırsa, sıcaklık sensörlerinin voltaj farklı çipin arkasındaki akış kanalı üzerinden akan gazın kütle akışının ölçüsüdür.

CMOSSens  - teknolojisi içindeki bypass sensörünün fonksiyon diyagramı (bypass kanalından kesit)